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阳极预电离改善准分于激光器放电均匀性

Preionization near Anode Improves Homgenity of Discharge in an Excimer Laser

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【作者】 熊旭明； 秦玉英； 王广昌； 张兆平； 马树森；

【Author】 Xiong Xuming; Qin Yuying; Wang Guanchang; Zhang Zhaoping; Ma Shusen (Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Academia Sinica, Hefei 230031)

【机构】 中国科学院安徽光机所七室；

【摘要】 提出了准分子激光器阳极预电离方案，并在实验上证实了阳极预能有效地改善放电均匀性，同时使激光输出能量略有提高。

【Abstract】 The preionization near anode was suggestted in stead of preionization near cathode and experiments show that preionization near anode has improved both discharge homogenity and pulse energy output.

【关键词】 准分子激光器； 预电离； 放电均匀性；
【Key words】 excimer laser； preionization； homgenity of discharge；
  • 【文献出处】 中国激光 ,CHINESE JOURNAL OF LASERS , 编辑部邮箱 ,1995年03期
  • 【分类号】TN243
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