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基于隧道效应的纳米级轮廓仪
【摘要】 介绍了一种利用量子力学中隧道效应原理工作的纳米级轮廓仪．它可对直径为１３０ｍｍ的光盘、磁盘等较大工件表面直接进行测量，扫描范围为１×１～１４０×１４０μｍ２，Ｘ，Ｙ方向扫描步长为１～８００ｎｍ可调，横向分辨率达几个纳米，纵向分辨率优于１ｎｍ．利用该装置已测得精密光栅、精磨祥块、金刚石镜面车削等表面的纳米级形貌．
【基金】 国家自然科学基金
- 【文献出处】 航空精密制造技术 ,AVIATION PRECISION MANUFACTURING TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1995年04期
- 【分类号】TG84
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