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电子束处理前后C—SiC涂层的微观分析

Microanalysis of C-SiC coatings before and after electron beam treatment

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【Author】 Zhang Hailong;Wang Dezhi;Huang Ningkang (Institute of Nuclear Science and Technology,Sichuan University,Chengdu 610064)

【机构】四川大学原子核科学技术研究所；

【摘要】在不锈钢材料表面，用射频磁控溅射沉积Ｃ—ＳｉＣ，利用ＸＲＤ、ＸＰＳ对电子束处理前后的Ｃ—ＳｉＣ涂层进行了微观分析．更多还原

【Abstract】 The r.f.magnetyon spattering deposited C-SiC coatings on stainless steel surface are microanalysed by XRD and XPS before and after electron beam treatment,and the results are disscussed.更多还原

【关键词】 C—SiC涂层；电子束处理；微观分析；
【Key words】 C-SiC coatings； Electron beam treadment； Microanalysis；

【文献出处】核技术 ,NUCLEAR TECHNIQUES , 编辑部邮箱 ,1995年06期

【分类号】TG174.445
【被引频次】3
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