新型抗蚀剂介绍

【摘要】 新型抗蚀剂介绍金林生（无锡市化工研究设计院）１．序言在制作集成电路、大规模集成电路等半导体器件时，其细微加工是通过将抗蚀剂作为保护膜来进行蚀剂（微图复印术）的。这里所谓抗蚀剂就是经过光和放射线的照射，其溶解性发生变化的涂膜材料，在硅晶基板进行蚀刻的时...更多还原