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激光等离子体化学反应合成SiC、Si＿3N＿4
SiC、Si3Ceramic Powder Synthesis with Lascr Produced Plasma
【摘要】 本工作以Ｃ＿３Ｈ＿６＋ＳｉＨ＿４混合的气体及ＳｉＨ＿４＋ＮＨ＿３混合气体为反应物，用激光等离子体化学气相反应法合成了纳米级的ＳｉＣ和Ｓｉ＿３Ｎ＿４陶瓷粉末材料，用红外谱、Ｘ射线衍射、透射电子显微镜等多种技术对粉末的化学键性质、粒度及形、晶态等特性进行了分析，讨论了实验参量对粉末性能的影响。
【Abstract】 In this work,Ceramic powders of SiC,and Si3N4are synthesized by TEACO2Laser,plasma chemical vapour reaction. Fourier Transform Infrared（FTIR）analysis.Some instruments,such as transmision Electron Microscope（TEM）,X RayDiffraction Technique（XRDT）,and Elements analyser are used to examine the powdercharacteristics.The dependence of reaction and powder characteristics on various experi-ment parameters are discussed.
【关键词】 激光等离子体；
化学气相反应；
SiC、；
Si＿3N＿4粉末；
【Key words】 Laser prodused plasma Chemical vapour phase reaction SiC Si3N4powder；
【Key words】 Laser prodused plasma Chemical vapour phase reaction SiC Si3N4powder；
【基金】 河北省教委资助
- 【文献出处】 河北大学学报(自然科学版) ,JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE) , 编辑部邮箱 ,1995年01期
- 【分类号】O621.37
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