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光刻伺服盘安装精度的理论分析与实践

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【作者】 胡学骏； 张江陵； 肖正文； 袁智敏；

【机构】 华中理工大学计算机系；

【摘要】 从光刻伺服盘的制作工艺过程和光刻伺服图形道位置信息的特征入手，分析了引起光刻伺服盘安装偏心的原因以及偏心对磁头伺服定位的影响，并提出了提高安装精度和减小偏心的有效途径。

【关键词】 光刻伺服盘； 磁道偏心； 伺服盘的再安装；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 电子计算机外部设备 ,COMPUTER AND PERIPHERALS , 编辑部邮箱 ,1995年02期
  • 【分类号】TP333.35
  • 【下载频次】14
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