TaN膜的结构、成分及性能-中国学术期刊网络出版总库

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TaN膜的结构、成分及性能

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【英文篇名】	Structure,composition and properties of TaN thin films
【下载频次】	★★☆
【作者】	张庆瑜; 陈斌; 王敏; 朱英臣; 陈遐;
【英文作者】	ZhangQingyu; Chen Bin; Wang Min; Zhu Yingchen; Chen Feixia(State Key Laboratory of Materials Modification by Laser; lon and Electron Beams; DUT);
【作者单位】	三束材料改性国家重点实验室大连理工大学分部;
【文献出处】	大连理工大学学报 , JOURNAL OF DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY, 编辑部邮箱 1995年 04期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	沉积; 膜; 结构分析; 性能／TaN膜;
【英文关键词】	deposition; film; structural analysis; properties/TaN film;
【摘要】	研究了三极溅射法制备的ＴａＮ膜的结构、成分及其性能。实验发现：随着氮分压的增加，ＴａＮ膜的结构将从面心立方相转变为六方相；ＴａＮ膜的显微硬度在单一相结构时最大，而以双相共存时的显微硬度较低。
【英文摘要】	The structure,composition and properties of TaN films deposited by a triode-sputtering ion plate are investigated.A phase transition from fcc TaN to hexagonal TaN with anincrease in the nitrogen partial pressure is observed.The microhardness of TaN film with singlephase is higher than that with fcc and hexagonal phases coexisting.
【基金】	国家自然科学基金
【分类号】	O174.442
【正文快照】	ＴａＮ膜的结构、成分及性能张庆瑜，陈斌，王敏，朱英臣，陈遐（三束材料改性国家重点实验室大连理工大学分部１１６０２４）摘要研究了三极溅射法制备的ＴａＮ膜的结构、成分及其性能。实验发现：随着氮分压的增加，ＴａＮ膜的结构将从面心立方相转变为六方相；ＴａＮ膜的显?

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