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微位移机构及其在误差补偿控制中的应用

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【作者】 韩良； 贾方； 王寄蓉；

【机构】 东南大学机械系；

【摘要】 本文介绍了微位移机构的主要类型，并通过实例对微位移机构在误差补偿控制中的应用情况进行了分析和综述。

【关键词】 微位移机构； 误差补偿控制；
  • 【文献出处】 电子工业专用设备 ,EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING , 编辑部邮箱 ,1995年03期
  • 【分类号】TH161.5
  • 【被引频次】9
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