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硅的阳极氧化研究──多孔硅的制备及其发光机制

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【摘要】 评介了阳极氧化方法制备多孔硅(PorousSilicon)的工艺,讨论了多孔硅的形貌及发光机制。

【关键词】 多孔/硅阳极氧化
  • 【文献出处】 材料保护 ,MATERIAIS PROTECTION , 编辑部邮箱 ,1995年10期
  • 【分类号】TN304.05
  • 【被引频次】7
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