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利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度

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【作者】 费龙； 钟先信； 温志渝； 高杨；

【机构】 重庆大学光电精密机械研究所!重庆630044；

【摘要】 <正>为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度,曾采取许多办法,但收效甚微,为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.以

【关键词】 横向灵敏度； 加速度传感器； 传感器阵列； 传感系统； 微机械； 压阻式； 低硅； 传感器安装； 悬臂梁结构； 传感单元；
【基金】 国家教委博士点、国家自然科学基金资助课题
  • 【文献出处】 传感技术学报 ,Journal of Transcluction Technology , 编辑部邮箱 ,1995年04期
  • 【分类号】TP212
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