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阳极真空弧沉积膜的背散射分析

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【作者】 王瑞光；

【机构】 烟台大学；

【摘要】 通过对阳极真空弧沉积膜的背散射分析,测出沉积膜中阳极材料W含量不大于0.04％,得出了起弧条件与W蒸发量的关系。

【关键词】 阳极真空弧； 背散射； 截面；
  • 【文献出处】 表面技术 ,Surface Technology , 编辑部邮箱 ,1995年03期
  • 【分类号】TQ153
  • 【被引频次】1
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