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铝型材挤压模具PCVD TiN必要条件研究

The Study on Condition of Aluminium Profile extrusion dies PCVD TiN

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【作者】 常志梁董良张金旺杨川吴大兴陶佑卿

【Author】 Chang Zhiliang etc. (Taiyuan Heavy-Machinery Institute) Yang Chuan etc. (Southeast Jiaotong university)

【机构】 太原重机学院西南交通大学

【摘要】 针对铝型材挤压模具,通过理论分析和实验验证,表明并不是所有尺寸的模具均能实现离子体化学气相沉积(PCVD),而是当工作带宽度与阴极放电长度满足一定关系时,才能有效地实现沉积,文中给出了这个必要条件。

【Abstract】 Through theoretical analysis and experiment verification to aluminium profile extrusion dies,it is found that no all dies with various dimensions can achieve plasma chemical vapour deposition -PCVD,only when the Width of a bearing depth inthe die and the length of negative pole discharging to meet certain conditions,it can be achieved. In this paper, the necessary condition is given.

【关键词】 PCVD工艺条件阴极放电
【Key words】 PCVDTiN filmCathode dischargetechnological condition
  • 【文献出处】 表面技术 ,Surface Technology , 编辑部邮箱 ,1995年01期
  • 【分类号】TG174.4
  • 【被引频次】3
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