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机械量传感器的开发应用

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【作者】 阎军；

【机构】 长春大学；

【摘要】 本文介绍了半导体压力传感器、半导体加速度传感器、压电加速度传感器、伺服加速度传感器和电位器传感器的开发应用及前景。

【关键词】 机械量； 压阻式； 半导体硅； 电容型； 导电塑料； 接触型； 电压输出； 绕制； 振动检测； 微加工技术；
  • 【文献出处】 中国仪器仪表 ,CHINA INSTRMENTATION , 编辑部邮箱 ,1994年06期
  • 【分类号】TP212.12
  • 【被引频次】1
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