节点文献

S—枪磁控溅射源的研制及其特性

The study and properties of S-gun magnetic control spatter source

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 杨占文； 李自鹏； 刘福侠；

【Author】 Yang zhanwen;Lizipeng;Liu Fuxia(Vacuum teaching laboratory,Hefei industry university)

【机构】 合肥工业大学真空教研室；

【摘要】 Ｓ－枪是一种先进的真空溅射镀膜器件，可用于进行多种真空镀膜工艺。详细介绍了研制Ｓ－枪的结构状况及其工作特性。

【Abstract】 S-gun is a kind of advanced vacuum spatter coating devices It can be used to carry on many vacuum coating technology.This article introduces the study of structure state and operation propertics of S-gun.

【关键词】 S－枪； 结构研制； 特性；
【Key words】 S-gun、 magnetic spatter.；
  • 【文献出处】 真空与低温 ,VACUUM AND CRYOGENICS , 编辑部邮箱 ,1994年01期
  • 【分类号】TG174.445
  • 【下载频次】67
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)