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PPS膜电容式湿敏元件

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【作者】 陈猛； 马振国； 杨津基；

【机构】 清华大学电机工程与应用电子技术系； 清华大学电机工程与应用电子技术系 北京 100084； 北京 100084； 北京 100084教授；

【摘要】 本文介绍了PPS膜电容式湿敏元件的结构和特性,并提出了提高元件性能的措施。

【关键词】 电容式湿敏元件； 薄膜； 湿敏特性；
  • 【文献出处】 仪表技术与传感器 ,Instrument Technique and Sensor , 编辑部邮箱 ,1994年06期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】2
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