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精密传感器的电子束真空封装和半穿透焊接技术

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【作者】 林世昌； 张燕生； 范炳林；

【机构】 中国科学院电子学研究所； 中国科学院电子学研究所 北京市 100080； 北京市 100080； 北京市 100080；

【摘要】 真空电子束焊接具有许多特点,用于精密传感器的封装焊接和特殊焊接是非常合适的,本文专题介绍真空封装和半穿透焊接技术。

【关键词】 传感器； 封装； 电子束； 焊接； 真空；
  • 【文献出处】 仪表技术与传感器 ,Instrument Technique and Sensor , 编辑部邮箱 ,1994年05期
  • 【分类号】TP212
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