节点文献

准分子激光直接切割金刚石薄膜的技术研究

STADY ON TECHNIQUE OF DIRECTLY CUTTING DIAMOND FILM BY EXCIMER LASER

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 赵方海； 任临福； 王庆亚； 马力； 郑伟； 张玉书；

【Author】 Zhao Fangkai;Ren linfu;Wang Qingya;Ma Li;Zheng Wei and Zhang Yushu(Dept of Electronic Engineering,Jilin Univereity,Integrated Optoelectronics National Laboratory,Changchun 130023)

【机构】 吉林大学电子工程系集成光电子学国家重点联合实验室；

【摘要】 本文介绍了准分子激光切割金刚石薄膜的实验结果，给出了切割金刚石薄膜的光能量密度阀值，并对其结果进行了分析和讨论。

【Abstract】 The experimental results of cutting diamond film by excimer laser are intreduced.The threshold of laser energy density of cutting diamond film is given and the results are discussed.

【关键词】 准分子激光； 切割； 金刚石薄膜；
【Key words】 excimer laser； cutting； diamond film；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,MICROFABRICATION TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1994年02期
  • 【分类号】TN305.1
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】97
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)