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扫描电镜的计算机解耦控制设计

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【作者】 徐立新； 庄显义；

【机构】 哈尔滨工业大学控制工程系!150006；

【摘要】 本文设计了以8098单片机为核心的数字控制系统，实现了扫描电镜的解耦控制；并进一步设计了串联非对消解耦控制器和状态反馈即极点配置解耦控制器。本系统具有实际参考价值。

【关键词】 扫描电镜； 伺服系统； 解耦；
  • 【文献出处】 基础自动化 ,Basic Automation , 编辑部邮箱 ,1994年05期
  • 【分类号】TP273
  • 【被引频次】3
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