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电致伸缩微动工作台匀速运动的实现
【摘要】 运用ＰＣ－ＸＴ微机控制电致伸缩微动工作台，实现了微动工作的匀速平移。其行程为４．５μｍ，最小步距为０．０３μｍ，运动速度在０．０３～０．１５μｍ／ｓ的范围内可凋。在４．５μｍ行程内，工作台水平位移量小于０．１μｍ。
- 【文献出处】 机械与电子 ,MACHINERY & ELECTRONICS , 编辑部邮箱 ,1994年05期
- 【分类号】TQ056
- 【被引频次】1
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【摘要】 运用ＰＣ－ＸＴ微机控制电致伸缩微动工作台，实现了微动工作的匀速平移。其行程为４．５μｍ，最小步距为０．０３μｍ，运动速度在０．０３～０．１５μｍ／ｓ的范围内可凋。在４．５μｍ行程内，工作台水平位移量小于０．１μｍ。