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线位移测量用激光干涉仪的检定

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【作者】 尚其纯；

【机构】 东北林业大学；

【摘要】 <正> 在机床调整中为测量线位移,广泛使用激光干涉仪。其构造形式可以测量被测对象的平面性及直线性偏差,还可以进行线性位移的两座标测量。备有测量结果修正装置和外界条件自动补偿器的现代干涉仪,能在数字显示器、双座标自动记录器或数字打印机上,记录测量结果。全苏门捷列夫计量科学研究院

【关键词】 激光干涉仪； 位移测量； 计量科学研究； 机床调整； 补偿器； 线性位移； 自动记录器； 数字显示器； 直线性； 线位移；
  • 【分类号】TH744.3
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