微结构在光编码器、光组件方面的应用

【摘要】 <正> 1.前 言 编码器是一种探测位置、位移、角度、速度和旋转方向等用途的位置传感器。随着计算机的普及,是伴随由模拟控制向数字控制转变而必然产生的模/数(A/D)变换器。最初编码器实施数字化的目的只是为了适应自动化、省力化和高速化发展的需要。近年来又向高精度化和多功能化方面发展。就高精度化而言,存储元件的最具代表性的尺寸为0.3μm(300 nm),元件检更多还原