【摘要】 本工作介绍了一种对￣［１］Ｂ（ｐ，α）￣８Ｂｅ在Ｅ＿ｐ＝６６２ｋｅＶ强宽共振反应产生的α谱模拟计算方法。这种方法用于表面扩硼，硼离子注入和掺硼薄膜等样品中硼浓度深度分布的分析，并取得了好的结果。更多还原

【Abstract】 The spectra of α particles emitted from the￣(11)B(P,α)￣8 Be at E_p= 662kcV resonance reac-tion can be obtained by a convolution method.The method is applied to predict the boron depthprofiles in samples of boron diffusion and boron dopping and gives satisfactory results.(更多还原