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应用SSPDA单频激光干涉仪

Mono-frequency Laser Interferometer Using a SSPDA Device

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【Author】 Xue Shifu;Li Qingxiang;Wang Boxiong;Xu Yuxian and Yu Shui(Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua Universit,Beijing 100084)

【机构】清华大学精密仪器与机械学系；

【摘要】本文介绍一种采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）作为激光干涉条纹接收器的新型单频激光干涉仪。更多还原

【Abstract】 This paper describes a new mono-frequency laser interferometer using a self-scanning photoelectric diode array(SSPDA)as the receiving device of laser interference fringes.更多还原

【关键词】 SSPDA；单频激光器；干涉仪；
【Key words】 SPDA； Mono-frequency laser； Interferometer；

【基金】国家自然科学基金

【文献出处】光学精密工程 ,OPTICS AND PRECISION ENGINEERING , 编辑部邮箱 ,1994年01期

【分类号】TH744.3
【被引频次】2
【下载频次】83

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