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磁光盘多层结构AIN和AlSiN薄膜材料研究

AIN and AISiN Films of Multistructure Magneto-Optical Disk

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【作者】 缪向水； 李佐宜； 胡用时； 林更琪；

【Author】 Miao Xiangshui; Li Zuoyi; Hu Yongshi; Lin Gengqi(Huazhong University of Science&Technology,Wuhan,430074,China)

【机构】 华中理工大学；

【摘要】 本文研究了磁光材料保护膜ＡＩＮ和ＡＩＳｉＮ薄膜材料，讨论了它们的性能与溅射工艺参数的关系，研究了ＡＩＮ及ＡｌＳｉＮ薄膜对磁光盘材料的保护作用，研究同时表明：ＡＩＮ及ＡｌＳｉＮ保护膜能对磁光材料起干涉增强磁光克尔效应作用。

【Abstract】 The protective films of AIN andAlSiN for magneto-optical disk have been studied.The relation between their properties and sputteringcondition,the corrosion protective effect while theKerr enhancement effect for magnetooptical mediahave been reported.

【关键词】 磁光材料保护作用； AINAlsiN干涉增强；
【Key words】 AlN films； ALSiN films； magneto-optical disk； protective effect； Kerr enhancement；
  • 【文献出处】 功能材料 ,JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS , 编辑部邮箱 ,1994年01期
  • 【分类号】O484.43
  • 【被引频次】3
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