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金刚石厚膜的制备及应用研究
Synthesis and Applications of Diamond Thick Film
【摘要】 用电子增强热灯丝ＣＶＤ（化学汽相沉积）方法制备出膜厚为０．１－２ｍｍ的金刚石厚膜，研究了金刚石厚膜的耐磨性和热导特性，用它制作了金刚石膜焊接刀具和半导体激光器用金刚石膜热沉。
【Abstract】 A diamond thick film(0.1-2mm thick )has been grown by electron assistant hot filament CVDmethod. The wear resistivity and thermal conductivity of the diamond thick film are investigated,anddiamond film brazed cutting tools and heat sinks of diamond film have been made using the diamond thickfilm.
【关键词】 电子增强热灯丝CVD方法；
金刚石厚膜；
金刚石膜焊接刀具；
金刚石膜热沉；
【Key words】 Electron assistant hot filament CVD； Diamond thick film； Diamond film brazed tcol； Heat sink of diamond film；
【Key words】 Electron assistant hot filament CVD； Diamond thick film； Diamond film brazed tcol； Heat sink of diamond film；
【基金】 863计划资助项目
- 【文献出处】 高技术通讯 ,HIGH TECHNOLOGY LETTERS , 编辑部邮箱 ,1994年08期
- 【分类号】TN304.18
- 【被引频次】9
- 【下载频次】200