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多功能全息透镜用于测量类镜表面的平整度

Measuring the Smoothness of the Mirror-Like Surface by Holographic Lens

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【Author】 Wang Shifan;Cui Jingcui (Department of Applied Physics, University of Electronic Science and Technology of China.Chengdu,610054)

【机构】成都电子科技大学应用物理系；

【摘要】基于自聚焦误差检测和光路可逆原理，分析并实验证明了利用一种多功能全息透镜来测量类镜表面平整度的可行性。实验结果表明其测量精度可达微米量级。更多还原

【Abstract】 A multifunctional holographic lens is presented based on autofocus error detection and the principle of reversibility of light. Its feasibility of the mirror-like surface is described. The experimental results demonstrate that micron class resolution is possible.更多还原

【关键词】平度测量；全息透镜；多次曝光全息术；比较测量法。；
【Key words】 Planeness measurement； Holographic lenses； Multiple-exposure holography； Comparative measurement methods.；

【基金】四川省科委基金

【文献出处】光电工程 ,OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING , 编辑部邮箱 ,1994年02期

【分类号】TG839
【下载频次】42

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