两种SACP电子光学光路的比较

【摘要】 两种ＳＡＣＰ电子光学光路的比较廖乾初（冶金部钢铁研究总院，北京１０００８１）在扫描电镜中，为了获得选区电子通道花样，通常是采用所谓单偏转摇摆的聚焦电子束扫描光路￣［１］。根据我们实验室条件，上述的电子束扫描方式有两种光路可以选择：（１）会聚电子束的摇...更多还原