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电化学生长法制备薄膜阵列场致发射阴极的研究

Investigation of Electrrochemical Growing Method for Fabricating Film Array of Field Emission

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【作者】 周清； 岳卫民； 张莉； 赵力斌； 赵守珍； 梁翠果； 谢宝森； 赵新为； 周杏弟；

【机构】 南开大学电子科学系；

【摘要】 本文介绍一种制备薄膜场发射阵列阴极的新方法，这就是以玻璃为衬底的电化学生长法。文章给出了用这种方法生成的铜尖端阵列的形貌和结构，并给出了它的发射曲线。这些曲线表明，它们很好地与Ｆｏｅｌｅｒ－Ｎｏｒｄｈｅｉｍ公式一致。

【关键词】 电化学生长法； 场发射阵列；
  • 【文献出处】 电子器件 ,JOURNAL OF ELECTRON DEVICES , 编辑部邮箱 ,1994年03期
  • 【分类号】TN305.5
  • 【被引频次】1
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