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扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究

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【作者】 闵光伟； 陆祖宏； 韦钰；

【机构】 国家教委分子与生物分子电子学实验室；

【摘要】 扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究扫描隧道显微镜ＳＴＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）不但具有时物质表面原子结构的三维成象能力，而且通过控制ＳＴＭ针尖发射电子、离子及针尖与基底的机械接触等还可以在纳米尺度内改变物质特定区域的徽...

【关键词】 扫描隧道显微镜； 纳米加工； 物质表面； 刻蚀法； 机械接触； 发射电子； 微电子制造； 脉冲宽度； 微加工； 石墨表面；
  • 【文献出处】 东南大学学报 ,JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVWRSITY , 编辑部邮箱 ,1994年05期
  • 【分类号】TN16
  • 【被引频次】2
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