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激光化学气相沉积TiC、TiN类陶瓷薄膜概况

The summarization of laser chemical vapor deposition of TiC,TiN Ceramic Film

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【作者】 宋武林； 朱培蒂； 陶曾毅； 崔崑；

【Author】 Song Wulin Zhu Beidi Tao Zengyi Cui Kun(Mechanical Engineering Department ,Huazhong University of Science and Technology)

【机构】 华中理工大学机二系； 华中理工大学机二系；

【摘要】 介绍了用LCVD法合成并沉积TiC、TiN类陶瓷膜的方法、原理、工艺特点以及LCVD法的一些独特优点。

【Abstract】 In this paper, introduced importantly laser chemical vapor deposition(LCVD) which is used to synthesis and deposit TiC(or TiN) ceramic film,and too gave the theories,technological characters and many special advantages of LCVD.

【关键词】 激光； CVD； 陶瓷薄膜；
【Key words】 laser； CVD； ceramic film；
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】9
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