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金属卟啉L-B膜气敏元件的实验研究

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【作者】 顾长志； 孙良彦； 张彤； 文珂； 曹锡章；

【机构】 吉林大学电子科学系； 吉林大学化学系；

【摘要】 <正>传统的金属氧化物气敏元件因存在加热功率高、分散性大等不足之处而不够理想,若以L—B膜作为气敏功能膜就可避免以上缺点,但L—B材料的电导率较低,精确测量其

【关键词】 气敏元件； L-B膜； 金属卟啉； 分散性； 功能膜； 电导率测定； 加热功率； 超薄膜； 光刻法； 石英基片；
  • 【文献出处】 传感技术学报 ,Journal of Transcluction Technology , 编辑部邮箱 ,1994年01期
  • 【分类号】TN304.92
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