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亚微米级膜层热胀系数测量方法研究
Submicron Intentation Tester and Its Application
【摘要】 根据材料表面膜层很薄的特点,提出了其热胀系数测量的一种方法。该方法使用了双微位移测量机构,每一测量机构是由石英杆、差动电容传感器、弹簧、机械调零装置等构成;它们在仪器内部相互平行且垂直排列,间距约20mm,并处在同一个温度场中,该机械的两石英杆分别压在特制样品的上表面有薄膜和无薄膜处,温度的任何变化使石英杆长度的变化、试样及试样架高低的变化对两机构输出之差,即膜层的膨胀量变化不产生任何影响。
【Abstract】 A new Submicron Intentation Tester manufacture by the author and its application were described. The tester controlled by computer can be used to determine the elastic modulus and hardness of thin film, coating and ion-implanted layer, and also used to measure debording force of the fiber/matrix interface in composites.
- 【文献出处】 表面技术 ,Surface Technology , 编辑部邮箱 ,1994年06期
- 【分类号】O484
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