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Ar~＋激光辐照对GaAs（100）表面硫钝化的影响

Effect of Ar￣+ Laser Irradiation to Sulphide Passivation of GaAs (100) Surfaces

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【作者】 朱永强； 张桂墙； 蔡颂仪； 郝炳权；

【Author】 Zhu Yongqiang; Zhang Guiqiang; Cai Songyi and Hao Bingquan(Department of Physics, Fudan University. Shanghai 200433)

【机构】 复旦大学物理系；

【摘要】 本文用Ｃ－Ｖ法、金相腐蚀法、Ｘ光电子谱（ＸＰＳ）、俄歇电子谱（ＡＥＳ）研究ＧａＡｓ表面硫钝化膜和激光辐照硫化的效果．

【Abstract】 Abstract The sulphide passvation of GaAs surface and effect of Ar+ laser irradiation to sulphide passivation have been investigatel by using the C-V method, microscopy after etching, XPS and AES.

【关键词】 Ar； 激光辐照； 辐照硫化； 俄歇电子谱； 钝化膜； 腐蚀法； 抛光片； 金相； 势垒； 激光束；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 半导体学报 ,CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS , 编辑部邮箱 ,1994年08期
  • 【分类号】TN305.5
  • 【下载频次】24
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