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特种高压硅堆的结构设计

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【作者】 项兴荣；

【机构】 天津中环半导体公司；

【摘要】 本文从特种高压硅堆的内部结构、外形整体结构的设计以及在检测应用中应注意的问题进行了阐述，并就应用领域方面提出了线索。

【关键词】 高压硅堆； 结构； 设计；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1994年05期
  • 【分类号】TN342.03
  • 【被引频次】3
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