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用SIMS等技术表征镓扩散质量

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【作者】 任云珠； 曹永明；

【机构】 上海复旦大学材料科学系；

【摘要】 介绍用ＳＩＭＳ、ＴＥＭ、ＳＲＰ等技术检测Ｇａ扩散杂质分布及工艺中存在的问题，提供改进工艺的技术依据。

【关键词】 SIMS； 杂质分布； 扩展电阻； 饱和压降； 基区； 表面复合； 表面浓度； 透射电镜分析； 聚焦离子束； 击穿电压；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1994年03期
  • 【分类号】TN305.4
  • 【被引频次】2
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