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声学显微镜及在电子器件工业中的应用
【摘要】 阐述了声学显微镜（ＳＡＭ）的结构、工作原理，以及声学显微镜在电子元器件检测中广泛的实际应用研究；指出ＳＡＭ是一种具有观察、检测、分析的多功能仪器，将成为超声检测仪器升级换代产品。
- 【文献出处】 半导体技术 ,SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1994年01期
- 【分类号】TH742
- 【被引频次】4
- 【下载频次】160
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【摘要】 阐述了声学显微镜（ＳＡＭ）的结构、工作原理，以及声学显微镜在电子元器件检测中广泛的实际应用研究；指出ＳＡＭ是一种具有观察、检测、分析的多功能仪器，将成为超声检测仪器升级换代产品。