微致动技术

【摘要】 <正> 一、引言微致动指致动机构能够产生微米～纳米级的运动。应用于精微操作中的微致动机构,致动器本身并未微小化;而在微型机械领域,其致动器自身的尺寸也微小到了毫米乃至微米级的范围。微机械尺寸小、运动范围小、运动精度高且有一定的输出功率,所以作为其心脏的微致动需具有以下性能:1.微致动器尺寸微小;2.能产生大的力和线位移;3.更有效地应用三维形状以增大功率容量;4.更有更多还原