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准分子激光对不锈钢表面的掺杂淀积

Laser implant-deposition of stainless steel by excimer laser irradition

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【作者】 楼祺洪； 辜红平； 高鸿奕； 魏运荣； 董景星； 丁爱臻；

【Author】 Lou Qihong;Gu Hongping;Gao Hongyi;Wei Yunrong;Dong Jingxing;Ding Aizhen Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics Shanghai, 201800

【机构】 中国科学院上海光机所； 中国科学院上海光机所 201800； 201800；

【摘要】 对用XcCl准分子激光束照射BCl3气体包围下的不锈钢材料表面特性变化作了研究。紫外激光能成功地将硼掺入金属表面,最高掺杂浓度可达30％。

【Abstract】 The process of doping and deposition of B atom into stainless steel by irradition of aXcCl excimer laser beam in a BCl3 gas ambient is investigated, the exeperimental results show thatthe highest concentration of B atom in the surface layer exceeds 30 at. %.

【关键词】 准分子激光； 不锈钢； 掺杂淀积；
【Key words】 exeimer laser； stainless steel； implant-deposition；
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