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280keV离子注入机磁分析器的研究

MAGNETIC ANALYSIER FOR 280 keV ION IMPLANTER

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【作者】 孙官清； 郑思孝； 段小渝； 刘仲阳； 史维东； 廖小东；

【Author】 Sun Guanqing Zheng Sixiao Duan Xiaoyu Liu Zhangyang Shi Weidong Liao Xiaodong (Institute of Nuclear Science and Technology)

【机构】 四川大学原子核科学技术研究所； 四川大学原子核科学技术研究所；

【摘要】 概述了280keV离子注入机磁分析器的设计和性能,详细地讨论了调节磁极面对聚焦的影响.

【Abstract】 Magnetic analyser designed and its performance for 280keV ion implanter is described. Focusing effect of the magnet is discussed by adjustment of the pole faces analysing magnet.

【关键词】 磁分析器； 聚焦；
【Key words】 magnetic analyser； focusing.；
  • 【文献出处】 四川大学学报(自然科学版) ,Journal of Sichuan University (Natural Science Edition) , 编辑部邮箱 ,1993年04期
  • 【被引频次】1
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