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精密测量圆柱形工件内径的新途径

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【作者】 杨勇； 季军； 陈国鑑；

【机构】 合肥工业大学激光研究所； 合肥工业大学激光研究所 230009； 230009； 230009；

【摘要】 <正> 本文提出一种对圆柱形工件内径进行精密测量的新方法。激光改变了机电行业目前传统的手工检测方式,使测量精度从10微米量级提高到微米量级。该测量方法基于迈克尔逊干涉仪原理和光电检测技术,用光分束器将干涉仪的光路延伸到工件中。通过对干涉条纹的观察跟踪,实现对工件的准

【关键词】 精密测量； 迈克尔逊干涉仪； 微米量级； 分束器； 测量方法； 圆柱形； 干涉条纹； 手工检测； 光电检测技术； 机电行业；
  • 【文献出处】 量子电子学 ,Chinese Journal of Quantum Electronics , 编辑部邮箱 ,1993年01期
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