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未来的特大规模集成电路

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【作者】 杨之廉； 朱钧；

【机构】 清华大学微电子学研究所；

【摘要】 <正> 1959年3月美国德克萨斯仪器公司的基尔比(Jack Kilby)首次制成了第一个集成电路芯片,当时该芯片上只有四个晶体管。30年后的今天,集成电路已进入特大规模(UltraLarge Scale Integration)阶段。预计到2000年,一个芯片上能集成的元件数将超过1亿个,

【关键词】 特大规模集成电路； 微电子芯片； 信息；
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