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室温基底溅射沉积c轴取向ZnO薄膜

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【机构】中国科学院等离子体物理研究所；中国科学院等离子体物理研究所合肥230031；合肥230031；

【摘要】 <正> c轴取向氧化锌(ZnO)薄膜具有较强的压电和压光效应,常常用于声电、声光装置。在体声波(BAW)方面,如用于超声显微镜和薄膜谐振器等;在声表面波(SAW)方面,作为一种传输和相干材枓,它用作滤波器、卷积器、放大器、图象扫描以及谐振器;在导向光波(GOW)中,ZnO薄膜也广泛应用于声光和电光装置和二次谐波发生器等。更多还原

【关键词】氧化锌薄膜； ECR多极等离子体；溅射；

【文献出处】科学通报 ,Cinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,1993年07期

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