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微型机械研究的现状及展望

Present State and Future of MEMS Research

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【作者】 王立鼎； 崔天宏； 吕琼莹；

【机构】 中国科学院长春光学精密机械研究所； 中国科学院长春光学精密机械研究所 长春 130022； 长春 130022； 长春 130022；

【摘要】 微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。

【关键词】 微型机械； 微型机器人； 新兴热点； 机械研究； 致动器； 集成控制系统； 三维机械； 压电式； 微能源； 家庭服务；
  • 【文献出处】 科技导报 ,Science & Technology Review , 编辑部邮箱 ,1993年12期
  • 【被引频次】15
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