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三边测长法测量工件表面直线度误差

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【作者】 唐雯； 楚晓华； 张国雄； 金篆芷；

【机构】 天津大学精密仪器系； 天津大学精密仪器系；

【摘要】 本文介绍一种工件表面直线度误差的高准确度测量原理。它的特点是:通过测量两个已知距离的固定原点分别到工件表面的距离来求得工件表面直线度误差。应用双频激光干涉仪测长装置,通过旋转平面反射镜进行光束跟踪,用电容测头瞄准工件进行测量。测量精度不低于0.4μm/m。

【关键词】 直线度误差； 工件表面； 测头； 三边； 测量原理； 双频激光干涉仪； 测量精度； 平面反射镜； 重复定位精度； 坐标值；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 计量技术 ,Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,1993年04期
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