实际光栅信号质量对细分精度影响的研究

【摘要】 <正> 光栅尺在工业测量中有广泛的应用,但其测最准确度受到光栅尺输出信号质量的影响,往往由于信号质量的不佳,使得现有的细分技术不能得到充分的利用,有必要定量的研究一下光栅信号质量对光栅细分精度的影响。一、光栅信号的细分理想的光栅信号是两个正交的谐波信号,即正弦和余弦信号。由于它们在相位上差90°,如果把它们按两个垂直振动进行合成可得到一个矢量r,其轨迹为李萨如图形,是一个标准的更多还原