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提高半导体气敏元件性能稳定性和可靠性的新途径

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【作者】 林化新； 范淑华； 孙金凤；

【机构】 中科院大连化学物理研究所； 中科院大连化学物理研究所 116012； 116012；

【摘要】 利用多元贵金属作为本半导体气敏元件的敏感剂,同时又作为稳定剂,使元件在多种干扰因素作用下,其性能表现为稳定可靠。这表明了多元贵金属作为元件的稳定剂又作为敏感剂是提高元件性能稳定性和可靠性的有效新途径。

【关键词】 半导体气敏元件； 性能稳定性； 湿度范围； 测量电路； 热电流； 输出信号； 响应时间； 环境温度； 化学传感器； 干扰因素；
  • 【文献出处】 化学传感器 ,Chemical Sensors , 编辑部邮箱 ,1993年02期
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