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高TCR薄膜温度传感器的研究
AN INVESTIGATION OF HIGH TCR THIN FILM TEMPERATURE SENSOR
【摘要】 本文作者利用镍金属的优良特性,通过特定的工艺处理和控制,研制出了性能价格比高的薄膜温度传感器,其使用温区为-50~250℃;TCR 可达5900(10-6 /℃);线性度为±2. 13%;响应时间≤0. 2秒;电阻值为100~150Ω并可调整。
【Abstract】 In this paper,the authors utilize the good behaviors of Nickel metal and han-dled by special treatment and control,make out the thin film temperature sensor withhigh ratio of temperature and price.The using temperature zone of this sensor is-50~250℃,TCR 5900(10-6 /℃)or so,linearity±2. 13%,response time≤0. 2s,resistance 100~150 Ω and adjustable.
【关键词】 镍;
薄膜;
热处理;
厚度;
线性/薄膜温度传感器;
【Key words】 Nickel; thin films; heat treatment; thickness; linear/thin film temperature sensor;
【Key words】 Nickel; thin films; heat treatment; thickness; linear/thin film temperature sensor;
- 【文献出处】 华南理工大学学报(自然科学版) ,Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition) , 编辑部邮箱 ,1993年03期
- 【分类号】TN 373;
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