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绝缘材料薄膜在SEM的直接观察法

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【作者】 曾跃武卢兆伦石成儒庞国锋邱东江张慧明顾建明

【机构】 杭州大学杭州大学

【摘要】 用扫描电镜S-570直接观察了绝缘材料——金刚石薄膜形貌。观察过程中无放电现象,与表面喷金相比较。发现观察结果无区别。并从理论上进一步探讨其原因,为绝缘材料观察提供了一种新的方法。

【关键词】 金刚石薄膜放电
  • 【文献出处】 广西大学学报(自然科学版) ,Journal of Guangxi Univeristy(Natural Science Edition) , 编辑部邮箱 ,1993年S1期
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