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酸碱滴定法测定GaP半导体工艺中所掺N浓度的研究

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【作者】 李智慧； 李宝军；

【机构】 甘肃教育学院教务处； 甘肃教育学院物理系 兰州； 730000； 兰州；

【摘要】 本文将酸碱滴定法用于 GaP 半导体器件的生产中,测定了半导体工艺中所掺微量元素N 的含量.结果准确,精度高,从而实现了半导体中掺 N 浓度的控制.

【关键词】 半导体工艺； GaP； 半导体器件； 酸碱滴定法； 发光二极管； 发光效率； 中所； 吸收池； 当量数； 加水稀释；
  • 【文献出处】 甘肃教育学院学报(自然科学版) , 编辑部邮箱 ,1993年03期
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