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聚乙烯对低压气相沉积金刚石成核的促进作用

Effect of Polyethylene on Low Pressure Diamond Growth under the Vapour Phase

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【作者】 王建军吕反修杨保雄

【Author】 Wang Jianjun;Lu Fanxiu;Yang Baoxiong;University of Science and Technology Beijing;

【机构】 北京科技大学

【摘要】 研究了在微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)条件下,聚乙烯对金刚石在单晶硅衬底上形核的影响。发现预先涂覆在硅衬底的聚乙烯显著地促进了金刚石的形核;提出了聚乙烯促进金刚石形核的机理和具有SP~3杂化结构的含碳活化粒子过饱和度的概念及其促进金刚石形核的假说。本实验得出的结果对CVD金刚石的成核机理研究及在光学方面的应用有启发和促进作用。

【Abstract】 Effect of polyethylene on low pressure diamond growth under vapour phase was studied. It was found that diamond nucleation on polyethylene coated, un-polished single crystal silicon substrate was greatly enhanced. The mechanism of the observed enhancement on diamond nucleation was discussed, and a new conception of supersaturation of carbonaceous radicles with the SP~3 hybridization structure was proposed, which is closely related to the enhancement of diamond nucleation.

【关键词】 金刚石膜形核聚乙烯
【Key words】 Diamond filmNucleationPolyethylene
  • 【文献出处】 高技术通讯 ,High Technology Letters , 编辑部邮箱 ,1993年07期
  • 【分类号】TQ163;TB383.2
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